工業應用設備
半導體晶圓缺陷檢測設備

01
多光譜智能透鏡外觀檢測儀
多光譜智能透鏡外觀檢測儀(AOSI-4000S),主要用于各類光學元件、光學晶體、光學陶瓷的全自動表面質量檢測。 本設備自動化程度高,批量上料,自動送檢,智能檢測,根據檢測結果智能分揀,并生成統計日志。檢測結果可根據需求進行保存,保證檢測結果可溯源性。
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02
半自動智能透鏡外觀檢測儀
半自動智能透鏡外觀檢測儀(OSI-4000S),主要用于光學透鏡的外觀質量檢測,具有整盤上下料、自動檢測、標準選擇或自定義、自動判斷OK/NG、結果輸出等功能。 設備配備特殊設計的光學檢測系統,針對透鏡元件復雜多變的面型和鍍膜工藝,高靈敏度的檢出包括劃痕、麻點在內的各類外觀缺陷,相比人工具備可靠的穩定性和可重復性。
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03
平面元件缺陷檢測設備
平面元件外觀缺陷檢測設備(AOSI-4000F)主要用于平面光學元件的全自動外觀質量檢測,具有自動化程度高,批量上下料,自動傳送,智能檢測,根據檢測結果智能分選,并生成每個元件的檢測報告。設備可生成檢測日志,按不同時間周期進行元件檢測數量、缺陷檢測類型比例等條件進行日志生產,觀察生產良率變化,對生產工藝改進做出指導。
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