亞表面缺陷檢測儀
產(chǎn)品介紹
亞表面缺陷檢測儀(SSDI—2000 )，集成包括光學(xué)顯微成像、激光共聚焦、熒光共聚焦選配等成像在內(nèi)的多種檢測模式，用于光學(xué)元件表面、亞表面缺陷的檢測與分析，可在深度方向?qū)悠愤M(jìn)行分層檢測。
| 亞表面缺陷檢測儀 | |
| 型號 | SSDI-2000 |
| 檢測靈敏度 | ≤200nm |
| 橫向分辨率 | ≤300nm |
| 縱向分辨率 | ≤1μm |
| 最大樣品尺寸 | 100mm x 100mm,或根據(jù)客戶需求定制 |
| 缺陷縱向分辨率 | ≤1μm |
*注：可根據(jù)用戶需求，提供同類特制系統(tǒng)。
01
支持自動對焦
02
具備多種檢測模式
03
支持缺陷深度分析
04
支持表面與亞表面缺陷區(qū)分
05
各檢測模式可以自由切換，從一種檢測模式圖像上選區(qū)進(jìn)行其他檢測模式的檢測，觀察缺陷在不同檢測模式下的特性
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